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條目 晶圆

拼音 jīng yuán

注音 ㄐㄧㄥ ㄩㄢˊ

晶圆 詞語解釋

解釋

◎ 晶圓 jīng yuán

[wafer] 半導體製造中用於製造晶片的圓形矽基薄片

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晶圆 網路解釋

百度百科

晶圓是指製作矽半導體電路所用的矽晶片,其原始材料是矽。高純度的多晶矽溶解後摻入矽晶體晶種,然後慢慢拉出,形成圓柱形的單晶矽。矽晶棒在經過研磨,拋光,切片後,形成矽晶圓片,也就是晶圓。國內晶圓生產線以 8英寸和12英寸為主。

晶圓的主要加工方式為片加工和批加工,即同時加工1片或多片晶圓。隨著半導體特徵尺寸越來越小,加工及測量設備越來越先進,使得晶圓加工出現了新的資料特點。同時,特徵尺寸的減小,使得晶圓加工時,空氣中的顆粒數對晶圓加工後品質及可靠性的影響增大,而隨著潔淨的提高,顆粒數也出現了新的資料特點。

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wikipedia

晶圓(英語:Wafer)是半導體晶體圓形片的簡稱,其為圓柱狀半導體晶體的薄切片,用於積體電路製程中作為載體基片,以及製造太陽能電池;由於其形狀為圓形,故稱為晶圓。最常見的是矽晶圓,另有氮化鎵晶圓、碳化矽晶圓等;一般晶圓產量多為單晶矽圓片。

晶圓是最常用的半導體元件,按其直徑分為3英寸、4英寸、5英寸、6英寸、8英寸等規格,近來發展出12英寸甚至研發更大規格(14英吋、15英吋、16英吋、20英吋以上等)。晶圓越大,同一圓片上可生產的積體電路(integrated circuit, IC)就越多,可降低成本;但對材料技術和生產技術的要求更高,例如均勻度等等的問題,使得近年來晶圓不再追求更大,有些時候廠商會基於成本及良率等因素而停留在成熟的舊製程。一般認為矽晶圓的直徑越大,代表著這座晶圓廠有更好的技術,在生產晶圓的過程當中,良品率是很重要的條件。

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